4 3 Dr. Christian Oehr Abteilungsleiter Grenzflächentechno- logie und Materialwissenschaft Telefon +49 711 970-4137 christian.oehr@igb.fraunhofer.de KontaktAssisted Laser Desorption-Ionisation Time-Of-Flight Mass Spectroscopy) Erfassung der Elementzusammensetzung mit Elektronen- spektroskopie für die chemische Analyse (ESCA) und ener- giedispersiver Röntgenmikroanalyse (EDX) Prozessdiagnostik für Plasmen mit Sondenmessungen, op- tischen und massenspektrometrischen Methoden Neben der Qualität der Produkte steht vor allem die Material- und Energieeffizienz der entwickelten Verfahren im Vorder- grund. Eine Möglichkeit ist es, ganze Funktionseinheiten zu miniaturisieren und durch Kombination verschiedener dünner Schichten zu realisieren. Bei diesen dünnen Schichten ist dann auch die innere Struktur und chemische Zusammensetzung von Bedeutung, die den Transport von Stoffen (Membranen), von Elektronen (Leiter, Halbleiter) oder von Photonen (Lichtlei- ter) modulieren und Dünnschicht-Komponenten für die Pho- tovoltaik, für Batterien und für die organische Elektronik zu- gänglich machen. Herausforderung und Gegenstand unserer verfahrenstechnischen Entwicklungen ist es, die mit verschie- denen Dünnschichttechniken zugänglichen dünnen Schichten geeignet zu kombinieren. Durch den kombinierten Einsatz von Präparationsverfahren und analytischen Methoden sind wir in der Lage, Entwick- lungsaufgaben für unsere Kunden in allen Geschäftsfeldern des Fraunhofer IGB – Medizin, Pharmazie, Chemie, Umwelt und Energie – erfolgreich zu bearbeiten. Leistungsangebot Prozessentwicklung zur Plasmamodifizierung von Ober- flächen Schichtentwicklung für Schutzschichten (Kratz-, Korrosi- onsschutz), Barrieren gegen Permeation, Schichten als Re- servoir für die Freisetzung von Stoffen (Formulierungen) Funktionalisierung von Oberflächen (chemisch und bio- chemisch) Entwicklung von Plasma-Reinigungsprozessen und Plasma- Sterilisationsprozessen Synthese und Präparation nanostrukturierter Materialien mit maßgeschneiderter Oberfläche Entwicklung von neuartigen Formulierungen mittels Kern- Schale-Partikeln Charakterisierung von Nanopartikeln, Messung der Parti- kelgröße und Partikelgrößenverteilung mit optischen Methoden oder im elektrischen Feld Entwicklung von Membranen und Membranmodulen Herstellung und Testung von Membranen im Pilotmaßstab Oberflächen- und Schichtcharakterisierung Verfahrens- und Anlagenentwicklung Up-Scaling von Laborprozessen zur Herstellung dünner Schichten auf großflächige Formate und Skalierung der Nanopartikelherstellung zu größeren Volumina Infrastruktur und Geräteausstattung Anlagen zur Plasmabehandlung (Reinigung, Sterilisation, Beschichtung, Funktionalisierung) Anlagen zum Sputtern und zur Parylenbeschichtung Elektronenmikroskope und Rasterkraftmikroskope Geräte zur Oberflächen- und Dünnschichtanalytik Chemisch-nanotechnologische Laboratorien zur Synthese und Herstellung nanostrukturierter (Bio-) Materialien und Oberflächen Pilotanlagen zur Herstellung und Testung von Membranen