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2013|14 Jahresbericht Fraunhofer IGB

49 Dr. Christian Oehr Abteilungsleiter Grenzflächentechno- logie und Materialwissenschaft Telefon +49 711 970-4137 christian.oehr@igb.fraunhofer.de Kontakt Erfassung der Elementzusammensetzung mit Elektronenspektroskopie für die chemische Analyse (ESCA) und energiedispersiver Röntgenmikroanalyse (EDX) Quantitative Erfassung von chemischen Radikalen mit Elektronenspinresonanz-Spektroskopie Prozessdiagnostik für Plasmen mit Sondenmessungen, optischen und massenspektrometrischen Methoden Neben der Qualität der Produkte steht vor allem die Material- und Energieeffizienz der entwickelten Verfahren im Vorder- grund. Eine Möglichkeit ist es, ganze Funktionseinheiten zu miniaturisieren und durch Kombination verschiedener dünner Schichten zu realisieren. Bei diesen dünnen Schichten ist dann auch die innere Struktur und chemische Zusammensetzung von Bedeutung, die den Transport von Stoffen (Membranen), von Elektronen (Leiter, Halbleiter) oder von Photonen (Lichtlei- ter) modulieren und Dünnschicht-Komponenten für die Pho- tovoltaik, für Batterien und für die organische Elektronik zu- gänglich machen. Herausforderung und Gegenstand unserer verfahrenstechnischen Entwicklungen ist es, die mit verschie- denen Dünnschichttechniken zugänglichen dünnen Schichten geeignet zu kombinieren. Durch den kombinierten Einsatz von Präparationsverfahren und analytischen Methoden sind wir in der Lage, Entwick- lungsaufgaben für unsere Kunden in allen Geschäftsfeldern des Fraunhofer IGB – Medizin, Pharmazie, Chemie, Umwelt und Energie – erfolgreich zu bearbeiten. Leistungsangebot Prozessentwicklung zur Plasmamodifizierung von Oberflächen Schichtentwicklung für Schutzschichten (Kratz-, Korrosionsschutz), Barrieren gegen Permeation, Schichten als Reservoir für die Freisetzung von Stoffen (Formulierungen) Funktionalisierung von Oberflächen (chemisch und biochemisch) Verfahrens- und Anlagenentwicklung Entwicklung und Bewertung von Plasmareinigungs- und -sterilisationsprozessen Entwicklung von Tinten durch Verwendung von Bio­ materialien für die Herstellung biokompatibler oder bioaktiver gedruckter Strukturen Synthese und Präparation nanostrukturierter Materialien mit maßgeschneiderter Oberfläche Entwicklung von neuartigen Formulierungen mittels Kern- Schale-Partikeln Charakterisierung von Nanopartikeln, Messung der Partikelgröße und Partikelgrößenverteilung mit optischen Methoden oder im elektrischen Feld Entwicklung von Membranen und Membranmodulen Herstellung und Testung von Membranen im Pilotmaßstab Oberflächen- und Schichtcharakterisierung Up-Scaling von Laborprozessen zur Herstellung dünner Schichten auf großflächige Formate und Skalierung der Nanopartikelherstellung zu größeren Volumina Infrastruktur und Geräteausstattung Anlagen zur Plasmabehandlung (Reinigung, Sterilisation, Beschichtung, Funktionalisierung) Anlagen zum Sputtern und zur Parylenbeschichtung Elektronenmikroskope und Rasterkraftmikroskope Geräte zur Oberflächen- und Dünnschichtanalytik Chemisch-nanotechnologische Laboratorien zur Synthese und Herstellung nanostrukturierter (Bio-)Materialien und Oberflächen Pilotanlagen zur Herstellung und Testung von Membranen

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